製品概要


研究・開発分野向け電子線描画システム
〔汎用走査電子顕微鏡(SEM)を利用=特許〕


主な特徴

●大変経済的
●SEM機能と供用
●高安定/高信頼性/高分解能を実現
●ユーザーフレンドリでどなたにも安易に使用できる





描画システム制御装置

描画専用精密ステージ

SEM接続例 1


SEM接続例 2



各種描画例